上圆形研磨平板通过固定在其上的辅助板空套在机床摇臂上的螺杆上,上圆形研磨平板由下圆形研磨平板带动实现旋转运动。由于上、下圆形研磨平板间的偏心量e,因此它们之间产生相对运动。...
图2为在单偏心研磨机上采用单偏心法校正圆形研磨平板的示意图。圆形研磨平板校正时,下圆形研磨平板由机床主轴带动实现旋转运动,其转速为n。上圆形研磨平板通过固定在其上的辅助板空套在机床摇臂上的螺杆上,上圆形研磨平板由下圆形研磨平板带动实现旋转运动。由于上、下圆形研磨平板间的偏心量e,因此它们之间产生相对运动。开始校正时,为使研磨剂均匀布满整个板面,用手推动机床摇臂,带动上圆形研磨平板左右晃动,待研磨剂均匀布满整个板面之后,借助于摇臂将上圆形研磨平板固定在一定位置上,并使其与下圆形研磨平板保持一定的偏心量。
为了能在300mm的圆形研磨平板上生产0级量块,该圆形研磨平板的校正是关键。实践证明,其在用400mm0级四棱平尺测量时,径向压痕应均匀:在用直径为+80mm2级光学平晶测量时,在环宽方向上应凸0.5条光波干涉带。